一、聚氨酯滾筒印刷的分析
刻蝕后或El圖中與刻蝕滾輪位置一致的標記稱為滾輪痕，主要是由于滾輪異常造成的。先附著在滾輪表面的污染物污染硅片;二，滾筒上有毛刺，導致滾筒硅片表面有劃痕。
二、滾筒印花的典型形態(tài)特征
如果是通過滾筒摩擦，則不可能進行滾筒打印，但蝕刻滾筒在180度反轉時與硅片發(fā)生滑動摩擦，可根據滾筒打印是否間歇進行鎖定。
整個表面存在問題，可以通過滾輪結構來判斷。因為其他滾柱是線性接觸的，所以它們可以通過表面接觸的滾柱鎖定。
三、聚氨酯滾筒打印圖像分析
(1)蝕刻槽滾筒印刷
1.原因
硅片離開刻蝕槽擋板后，刻蝕表面仍有少量刻蝕液。在進入水箱之前，蝕刻表面仍在發(fā)生輕微的化學反應。由于步進滾輪與硅片之間有四個接觸面，因此四個接觸面反應程度不同于其他地方，會產生滾輪痕。
關于步進滾輪：在隨后的堿洗、酸洗和純水清洗后會部分消除，但由于步進滾輪的廣泛使用，后續(xù)的堿洗和酸洗不會消除。它需要盡可能少地使用，并且放錯地方。
注意：這種情況特別罕見，但確實有相關影響。
2.可行措施
A.更換細齒滾柱：開槽前和開槽后可安裝4-5個螺紋滾柱，或開槽后可更換所有螺紋滾柱;
B.步進滾輪造成的滾輪印可以優(yōu)化配方，增加每次清洗的循環(huán)次數，并將新水流量控制在12L/min，滾輪與工藝需要匹配;
C.對于刻蝕槽后階梯滾輪引起的滾輪印，在相同參數下，低速時的去除效果明顯優(yōu)于高速時的去除效果。后清潔完全能夠移除。高速運行時，可以對參數進行優(yōu)化，但參數存在局限性�？赏ㄟ^更換滾輪來調整工藝參數。
D.蝕刻槽的低循環(huán)流量導致硅片離開蝕刻槽時，后蝕刻槽的液位擋壁過高，導致蝕刻液緩慢溢出。一般來說，蝕刻槽后擋土墻的高度可以略低于前擋土墻，以便蝕刻液盡可能從后擋土墻中溢出。循環(huán)流量過低也會影響溢流。
3.干燥槽滾輪印
A.不合理的配方優(yōu)化導致干燥前疏水性差，進一步導致擠壓滾輪無法有效去除殘留水分，硅片中更多殘留水分進入干燥段;
B干燥段溫度、風量設置低;
C設備調試不好，經常堵塞層壓，導致硅片攜帶藥液進入干燥區(qū);
D滾輪變形，或滾輪表面有缺陷和毛刺。
2.可行措施
A.檢查沖洗液3的擠水效果。新水流量可適當增加，以確保每次水洗后具有良好的疏水性。壓水滾輪能有效去除硅片上的殘留物;
B.調整干燥槽風量為190-200l/min，溫度為59-60℃(這兩個因素會影響皮帶打印和滾筒打印);
C.檢查并更換有問題的滾筒;
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